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潔凈室火災(zāi)危害預(yù)防及處理：
警報(bào)設(shè)備：
a. 裝置位置：
1、高度：潔凈室內(nèi)部高度通常較一般建筑為大，在選用探測(cè)器時(shí)應(yīng)將天花板高度考慮在內(nèi)。
2、通風(fēng)換氣設(shè)備：裝設(shè)偵煙式探測(cè)器時(shí)，應(yīng)設(shè)于煙霧流動(dòng)必經(jīng)途徑，裝設(shè)感熱式探測(cè)器時(shí)，應(yīng)設(shè)于易蓄熱處，因此通風(fēng)換氣設(shè)備之出風(fēng)口或回風(fēng)口，應(yīng)注意與探測(cè)器保持一定距離，方能迅速感應(yīng)及動(dòng)作。
3 、層流現(xiàn)象：潔凈室內(nèi)因換氣頻繁，平均約六秒鐘席卷整個(gè)空間一次，同時(shí)間單位內(nèi)的空氣流動(dòng)量高出一般建筑物甚多，因此空氣流動(dòng)的層流現(xiàn)象應(yīng)考慮在內(nèi)，以避免探測(cè)器無法有效測(cè)知火災(zāi)，形同虛設(shè)。
b.種類：火焰式探測(cè)器、偵煙式探測(cè)器、極早期探測(cè)裝置，潔凈室防災(zāi)時(shí)，重點(diǎn)在于早期發(fā)現(xiàn)，因此靈敏度越高越好，以期災(zāi)害發(fā)生初期便能反應(yīng)，甚至在尚未發(fā)火前便能測(cè)知有發(fā)火的可能性，如極早期探測(cè)裝置便是以此為理念的設(shè)計(jì)。
送風(fēng)量大
潔凈度的提高和維持是半導(dǎo)體器件廠房空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計(jì)和運(yùn)行的重要任務(wù)，這一任務(wù)的完成要依賴很高的送風(fēng)量，是以高能耗為代價(jià)的。就送風(fēng)量而言，一般辦公大樓換氣次數(shù)為10h-1左右，而大規(guī)模半導(dǎo)件器件廠房?jī)?nèi)，為了滿足相應(yīng)的潔凈度要求，需要保證很高的換氣次數(shù)，致使循環(huán)風(fēng)量非常大。100級(jí)潔凈室的換氣次數(shù)可選到400h-1，10000級(jí)潔凈室的換氣次數(shù)日選到40 h-1，100000級(jí)潔凈室的換氣次數(shù)也要30 h-1。
人是凈化間內(nèi)主要塵源之一。尤其是工作人員在潔凈環(huán)境中的活動(dòng)，會(huì)明顯地增加潔凈環(huán)境的污染程度。因此，要獲得生產(chǎn)環(huán)境所需要的空氣潔凈度等級(jí)，對(duì)凈化間的人員活動(dòng)進(jìn)行控制，是有效的途徑和措施。要把凈化間各項(xiàng)規(guī)章制度真正落到實(shí)處，關(guān)鍵就是人員的日常管理，把人員凈化管理作為首要控制要素，所以應(yīng)該針對(duì)凈化間進(jìn)出人員進(jìn)行各項(xiàng)培訓(xùn)。 （1）對(duì)新入職人員進(jìn)行凈化間潔凈知識(shí)培訓(xùn)。
（2）對(duì)操作人員在凈化間操作設(shè)備，搬運(yùn)物料的專項(xiàng)培訓(xùn)。
（3）對(duì)所有進(jìn)出凈化間的人員進(jìn)行衣著穿戴，進(jìn)出制度的培訓(xùn)。
（4）對(duì)所有人員在凈化間的日常行為規(guī)范的培訓(xùn)。
每項(xiàng)培訓(xùn)后，都要組織進(jìn)行培訓(xùn)效果的評(píng)估和考核，使人員在意識(shí)上認(rèn)知：人員是凈化間內(nèi)重要污染源，使大家在行動(dòng)上能恪守相關(guān)的行為準(zhǔn)則，比如：
a. 所有人員必須建立一個(gè)凈化間的概念，必須清楚地了解所有不規(guī)范的行為均有可能產(chǎn)生出廢品，并列舉出正確的凈化間行為規(guī)范及不規(guī)范的行為的種類。
b. 進(jìn)入凈化間時(shí)，必須按正確流程穿戴凈化服、口罩、手套、凈化鞋。更換衣服時(shí)，必須防止干凈的凈化服拖到地面，或者和人員日常的非凈化服裝混放，造成凈化服表面被沾污。
c. 在凈化間中，人員的說話、咳嗽、打噴嚏等都會(huì)使唾液從口罩與皮膚的縫隙處噴出而污染產(chǎn)品；在咳嗽或打噴嚏時(shí)，必須將頭從產(chǎn)品處移開，打噴嚏后一般都要更換口罩；口罩一定要罩在鼻子上而不得戴在鼻下。
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