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潔凈廠房空調(diào)系統(tǒng)特點(diǎn)
潔凈廠房空調(diào)系統(tǒng)與一般民用建筑的空調(diào)系統(tǒng)的不同，它首先對(duì)控制區(qū)的潔凈度有很高要求。導(dǎo)體器件廠房內(nèi)，在硅襯底上只要落有電路線寬1/10～1/3大小的塵埃，就可能導(dǎo)致芯片電路短路。如今，半導(dǎo)體集成電路的發(fā)展突飛猛進(jìn)，近英特爾公司更是推出了采用32
nm線寬的處理器芯片，把生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度控制推向了。另外，潔凈廠房空調(diào)系統(tǒng)除對(duì)潔凈度要求較高外，還對(duì)溫度、濕度、震動(dòng)、噪音等都有不同程度要求。
同時(shí)，由于半導(dǎo)體器件生產(chǎn)工藝的特點(diǎn)，要求潔凈廠房內(nèi)全天（24h)保持相應(yīng)的潔凈度，目此，潔凈空調(diào)系統(tǒng)(包括排風(fēng)系統(tǒng))、為其配套的冷、熱源及相應(yīng)的輸送系統(tǒng)需每天24
h運(yùn)行，這也與其他空調(diào)系統(tǒng)極其不同。運(yùn)行時(shí)間的增長也使其空調(diào)系統(tǒng)的節(jié)能更具有潛力和意義。
潔凈空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計(jì)
3.1 潔凈冷負(fù)荷計(jì)算
夏季冷負(fù)荷包括:維護(hù)結(jié)構(gòu)冷負(fù)荷、人員冷負(fù)荷、照明冷負(fù)荷、生產(chǎn)設(shè)備冷負(fù)荷、新風(fēng)冷負(fù)荷、風(fēng)管冷損、空調(diào)機(jī)組風(fēng)機(jī)負(fù)荷等。經(jīng)計(jì)算:100級(jí)區(qū)域冷負(fù)荷指標(biāo)為880W/m2,1000級(jí)冷負(fù)荷指標(biāo):480W/m2。普通區(qū)域(testarea)冷負(fù)荷指標(biāo):600W/m2(普通區(qū)域放置測(cè)試設(shè)備,發(fā)熱量較大)。
3.2 100級(jí)、1000級(jí)潔凈房的空調(diào)方式潔凈房采用FHU+DCU+FFU的空調(diào)方式,潔凈房空調(diào)及氣流組織形式見圖1。
其中,FHU為新風(fēng)機(jī)組(Freshairhandingu2nit),另外,新風(fēng)機(jī)組對(duì)新風(fēng)采取了初、中、高過濾處理。新風(fēng)機(jī)組包括:初效段,表冷段,中效段,加熱段(廠家有熱水系統(tǒng),采用熱盤管),加濕段(廠家有蒸氣),高段。其中,空氣清洗段廠家先要求預(yù)留,以后再增加新風(fēng)機(jī)組擔(dān)負(fù)潔凈房的濕度控制,保持潔凈房的正壓和人員新風(fēng)需求。
凈化工程行業(yè)是服務(wù)于高科技、國計(jì)民生的常青產(chǎn)業(yè)，科技的發(fā)展與居民日常生活質(zhì)量的提升無不有賴于凈化技術(shù)發(fā)展作為其幕后的支持。近年來，隨著人們生活水平的逐步提高，無塵車間相關(guān)技術(shù)也從服務(wù)技術(shù)與產(chǎn)業(yè)，逐漸向服務(wù)普通工作和生活領(lǐng)域擴(kuò)展，在食品生產(chǎn)和流通各環(huán)節(jié)、裝備制造、商業(yè)寫字樓、大型數(shù)據(jù)中心、大型活動(dòng)場(chǎng)所，甚至美容化妝等領(lǐng)域都取得了廣泛的應(yīng)用。
無塵車間工程是指按照客戶的要求，提供對(duì)微粒、有害空氣等污染物的有效控制，溫度、濕度、噪聲、照度、潔凈度、室內(nèi)壓差、氣流速度與氣流分布、振動(dòng)、靜電等各項(xiàng)指標(biāo)均滿足安全生產(chǎn)需求的潔凈受控空間。無塵車間的主要作用在于為產(chǎn)品生產(chǎn)(如硅芯片等)和服務(wù)提供所需環(huán)境的潔凈程度，以及溫濕度、微震動(dòng)、噪聲、照度等各項(xiàng)指標(biāo)，使相關(guān)產(chǎn)品和服務(wù)能夠在一個(gè)滿足要求的、受控的、良好的環(huán)境空間中進(jìn)行生產(chǎn)和操作，從而達(dá)到提高產(chǎn)品生產(chǎn)的良品率，改善和提升相關(guān)服務(wù)質(zhì)量的目標(biāo)。
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