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送風(fēng)量大
潔凈度的提高和維持是半導(dǎo)體器件廠房空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計和運行的重要任務(wù)，這一任務(wù)的完成要依賴很高的送風(fēng)量，是以高能耗為代價的。就送風(fēng)量而言，一般辦公大樓換氣次數(shù)為10h-1左右，而大規(guī)模半導(dǎo)件器件廠房內(nèi)，為了滿足相應(yīng)的潔凈度要求，需要保證很高的換氣次數(shù)，致使循環(huán)風(fēng)量非常大。100級潔凈室的換氣次數(shù)可選到400h-1，10000級潔凈室的換氣次數(shù)日選到40 h-1，100000級潔凈室的換氣次數(shù)也要30 h-1。
凈化工程是在一定空間范圍內(nèi)，將空氣中的微粒子、有害空氣等污染物排除，并將室內(nèi)溫度、潔凈度、壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)的工程學(xué)科。凈化工程所特別設(shè)計的房間，不論外在空氣條件如何變化，室內(nèi)均具有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能。GMP車間凈化工程凈化氣流→初效凈化→空調(diào)→中效凈化→風(fēng)機送風(fēng)→管道→凈化風(fēng)口→吹入房間→帶走塵埃等顆?！仫L(fēng)百葉窗→初效凈化重復(fù)以上過程，即可達到凈化目的。
GMP車間凈化工程對于亂流式潔凈室減少室內(nèi)污染主要是通過空氣的稀釋作用來完成的，因此，一般不用速度而是用換氣數(shù)來說的。但是，對潔凈室潔凈工程中的氣流速度也是有要求，和單純空調(diào)房間相比，送風(fēng)口的出口處氣流不要太大。吹過水平面的氣流速度不宜太大，以免吹起表面微粒重返氣流，而造成再污染，這一速度一般不宜大干0.2m/s。潔凈工程中凈化效果的如何，要看每步流程是否達標，只有全方面考慮到，才能達到預(yù)期的效果。
人是凈化間內(nèi)主要塵源之一。尤其是工作人員在潔凈環(huán)境中的活動，會明顯地增加潔凈環(huán)境的污染程度。因此，要獲得生產(chǎn)環(huán)境所需要的空氣潔凈度等級，對凈化間的人員活動進行控制，是有效的途徑和措施。要把凈化間各項規(guī)章制度真正落到實處，關(guān)鍵就是人員的日常管理，把人員凈化管理作為首要控制要素，所以應(yīng)該針對凈化間進出人員進行各項培訓(xùn)。 （1）對新入職人員進行凈化間潔凈知識培訓(xùn)。
（2）對操作人員在凈化間操作設(shè)備，搬運物料的專項培訓(xùn)。
（3）對所有進出凈化間的人員進行衣著穿戴，進出制度的培訓(xùn)。
（4）對所有人員在凈化間的日常行為規(guī)范的培訓(xùn)。
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