凈化車間之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸的大氣的潔凈度以及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱之為凈化車間。按照國(guó)際慣例,無(wú)塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來(lái)規(guī)定。也就是說(shuō)所謂無(wú)塵并非100%沒(méi)有一點(diǎn)灰塵,而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見(jiàn)的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,但是對(duì)于光學(xué)構(gòu)造而言,哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的影響,所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,凈化車間無(wú)塵是必然的要求。
每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下,就達(dá)到了國(guó)際無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)級(jí)。目前應(yīng)用在芯片級(jí)生產(chǎn)加工的無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于灰塵的要求高,這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級(jí)較高芯片生產(chǎn)上。5μm及以下的微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以內(nèi),這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級(jí)別。
無(wú)塵車間工程主要包括無(wú)塵車間設(shè)計(jì)、施工和運(yùn)行管理前后相關(guān)的三個(gè)環(huán)節(jié)。質(zhì)量源于設(shè)計(jì),設(shè)計(jì)是核心。而凈化工程的施工又區(qū)別于一般的建筑工程,包括圍護(hù)結(jié)構(gòu)(俗稱“房中房”);空調(diào)凈化系統(tǒng);供電、自控、弱電系統(tǒng);純水、特氣、物料供應(yīng)系統(tǒng);廢氣、廢水處理系統(tǒng)及相關(guān)設(shè)施。運(yùn)行管理包括:實(shí)時(shí)檢測(cè),人員培訓(xùn),設(shè)備維護(hù),以保證受控的生產(chǎn)科研環(huán)境持續(xù)符合要求。
三個(gè)環(huán)節(jié)涵蓋了空態(tài)、靜態(tài)、動(dòng)態(tài)三個(gè)占有狀態(tài);環(huán)境受控又融合了風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估、生產(chǎn)認(rèn)證的概念和程序;加之潔凈技術(shù)跨行業(yè)、跨專業(yè)、跨學(xué)科的特點(diǎn):使之無(wú)塵車間工程的難度和復(fù)雜性增加。因此對(duì)于無(wú)塵車間工程行業(yè)來(lái)說(shuō),優(yōu)化設(shè)計(jì)、現(xiàn)場(chǎng)施工環(huán)境的協(xié)調(diào)與管控、工程相關(guān)技術(shù)細(xì)節(jié)的經(jīng)驗(yàn)積累,對(duì)客戶需求的理解和實(shí)現(xiàn),以及對(duì)設(shè)計(jì)變更的準(zhǔn)備和響應(yīng)程度等都是衡量無(wú)塵車間施工團(tuán)隊(duì)能力的重要指標(biāo)。
詳細(xì)了解客戶需求,比如產(chǎn)品工藝對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的要求,溫、濕度范圍、吊頂高度,若過(guò)高則耗能,若過(guò)低會(huì)給工作人員造 成一種壓抑的環(huán)境,顯然都不合適。吊頂高度根據(jù)設(shè)備高度及結(jié)合潔凈廠房設(shè)計(jì)要求設(shè)計(jì)。
潔凈廠房的隔墻、吊頂材質(zhì),一定要保溫材料,使建筑外形美觀、適用,又要符合國(guó)家的節(jié)能要求,盡量降低能量消耗。 門窗設(shè)計(jì)得恰當(dāng)與否,更是降低潔凈廠房建筑能耗的重要課題,必須控制好窗墻比,按潔凈室的特點(diǎn)盡量減少外墻上的窗面積;其次是門窗構(gòu)造的氣密性要求和材料選擇可靠,以確保門窗的保溫(冷)效果和減少冷風(fēng)滲透,防止“冷橋”現(xiàn)象的發(fā)生。