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送風(fēng)量大
潔凈度的提高和維持是半導(dǎo)體器件廠房空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計和運行的重要任務(wù)，這一任務(wù)的完成要依賴很高的送風(fēng)量，是以高能耗為代價的。就送風(fēng)量而言，一般辦公大樓換氣次數(shù)為10h-1左右，而大規(guī)模半導(dǎo)件器件廠房內(nèi)，為了滿足相應(yīng)的潔凈度要求，需要保證很高的換氣次數(shù)，致使循環(huán)風(fēng)量非常大。100級潔凈室的換氣次數(shù)可選到400h-1，10000級潔凈室的換氣次數(shù)日選到40 h-1，100000級潔凈室的換氣次數(shù)也要30 h-1。
無塵車間凈化分為生物潔凈室和非生物潔凈室兩種。生物潔凈室空氣凈化系統(tǒng)必須連續(xù)運轉(zhuǎn);非生物潔凈室使用前空氣凈化系統(tǒng)應(yīng)提前4小時開啟。檢測塵埃粒子用塵埃粒子計數(shù)器，在環(huán)境衛(wèi)生清潔后緩沖0.5～1小時之后進(jìn)行，為避免人為造成的污染，靜態(tài)測試時潔凈室內(nèi)兩人。的生產(chǎn)過程中應(yīng)對關(guān)鍵控制點進(jìn)行動態(tài)。
微生物含量的控制?？刂茲崈羰噎h(huán)境中的微生物含量仍然是靠良好的空氣凈化系統(tǒng)設(shè)施，其過濾效率可以達(dá)到99.9%～99.99%地濾除空氣中的菌和塵埃。生產(chǎn)中潔凈室內(nèi)溫度嚴(yán)格控制在18～26℃、相對濕度控制在45%～65%，以破壞有利于的生長條件，加之消毒液的清潔消毒，環(huán)境控制效果令人滿意。關(guān)于日常消毒液消毒，每天生產(chǎn)結(jié)束后，用75%乙醇或2‰新潔爾滅溶液擦拭機臺、桌面、門窗、墻壁等，用3%～5%的來蘇兒對地面擦拭消毒。
每3天生產(chǎn)結(jié)束后，用75%乙醇或2‰新潔爾滅溶液對潔凈室內(nèi)所有設(shè)施表面及頂棚、照明等表面進(jìn)行擦拭消毒， 3%～5%的來蘇兒對地面進(jìn)行消毒，目的是因生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的繁殖體，控制潔凈室內(nèi)微生物含量。這些措施僅能控制潔凈室內(nèi)空氣中的菌量及雜類，如果霉菌較多，就要先用5%石碳酸噴灑室內(nèi)，然后用甲醛熏蒸才能達(dá)到無菌效果，而且只有這樣才能菌、雜菌芽孢。每個生產(chǎn)周期結(jié)束，下個周期生產(chǎn)前對有無菌要求的潔凈室先進(jìn)行消毒液消毒，檢測潔凈室內(nèi)塵埃粒子數(shù)符合規(guī)定后，再對潔凈室內(nèi)進(jìn)行甲醛氣體熏蒸，從長期檢測的結(jié)果來看，這種環(huán)境滅菌方法效果很好。
在凈化車間裝修過程中，必須隨時清掃灰塵，對隱蔽空間如吊頂和夾墻內(nèi)部等做好清掃記錄。對已安裝過濾器的房間，不得進(jìn)行有粉塵作業(yè)。應(yīng)保護(hù)已完成的裝飾工程表面，不得因撞擊、、敲打、多水作業(yè)等造成板材凹陷、暗裂和表面裝飾的污染。條密封膠嵌固時，應(yīng)將基槽內(nèi)的雜質(zhì)、污油剔除干凈，并保持表面干燥。
塑料板材或卷材面層鋪貼前應(yīng)預(yù)先按規(guī)格大小、厚薄分類，板材或卷材與地面之間應(yīng)滿涂粘接劑，表面趕平，不得漏涂或殘存空氣。凈化車間裝修現(xiàn)場應(yīng)保證良好的通風(fēng)和照明，對于改建工程，應(yīng)查明和切斷原有電源及、和有毒氣體管線后方可施工，對工藝生產(chǎn)過程中使用的腐蝕性液體應(yīng)有安全防護(hù)措施。凈化車間裝修臨時設(shè)置的設(shè)備入口不用時應(yīng)封閉，防止塵土雜物進(jìn)入。
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